(1)製品に純度レベル100が必要な場合は層流タイプを選択し、製品に純度レベル1000-100 000が必要な場合は乱流タイプを選択します。
(2)渦流を減らし、作業区域外からの汚染物質が作業区域内に侵入するのを防ぐ。
(3)二次的な粉塵拡散を防止するため、風速が速すぎないようにする。乱流クリーンスペースの戻り空気は作業エリアの上部に位置してはならない。逆流口は床面または側壁の下に均等に配置することが望ましい。
(4)作業エリア内の空気の流れは均一で、流量は技術衛生の要求に適合している必要があります。きれいな空気の流れは、汚染物質が拡散する前に戻り空気の出口に入ることができるように、作業エリアを可能な限り取り囲む必要があります。ああ、なんてことだ。
(5)運転設備の配置においては、空気の入口と出口の配置及び空気の円滑な通過を可能にするために一定の距離を空けなければならない。また、高所の設備が空気の流れの配置に与える影響は、空気の流れ管理の設計において考慮されなければならない。
(6)クリーン作業台は、層流のクリーンルーム内に設置してはならない。乱流のクリーンルーム内に設置する場合は、室内の空気の清浄度を向上させるため、作業エリアの空気の流れの風上側に設置する必要がある。
(7)クリーンルーム内にドローバーがある場合は、室内の汚染を減らすために、作業エリアの空気の流れの風上側にドローバーを設置する必要があります。
Jun 19, 2024
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クリーンエアフロー管理の検討原則
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