清潔な施設の分類

空気の流れのモードに応じて、空気の流れを分配するクリーンルームには基本的に 3 つのタイプがあります。
（１）混合流クリーンルーム：乱流クリーンルームとも呼ばれる。室内の空気はすべて同じ方向に流れるわけではない。混合気流クリーンルームには、いくつかの共通した特徴がある。エンドフィルター（高または低）は、クリーンルームにできるだけ近いところに設置する。空気出口であっても、空気出口に直接接続しても、直接接続してもよい。室内の空気供給の静的チャンバーに接続することができる。戻り空気出口は、ほこりが飛ぶ現象を避けるためにクリーンルームの底部に設置されている。混合気流クリーンルームでは渦流が発生するため、高純度クリーンルームでの使用には適しておらず、クラス6-9のクリーンルームでの使用に適している。
（２）一方向流のクリーンルーム：一方向流のクリーンルーム内の空気の流れは、一方向に平行な電流線が走り、断面内の風速が一定であるという特徴がある。クリーンルームの流れには、垂直、一方向流のクリーンルーム、準垂直一方向流、水平一方向流などがある。
（3）ベクタールーム：ファンフィルターによって部屋の上隅に空気が供給されます。通常の高性能ファンフィルターを使用して空気を供給し、取り付けることもできます。空気出口を反対側の下部に持ち上げます。部屋の高さと長さの比率は平均です。適切な値は0.5対1です。このようなクリーンなスペースは、純度レベル5（レベル100）を達成することもできます。